Індустріальний парк ACME Xingsha, East Liangtang Rd. , місто Чанша, провінція Хунань

Піч CVD (C)

Furnace is used for material CVD/CVI treatment by using hydrocarbon gases (like C3H6,CH4 ) . It has both horizontal and vertical structures.

ЗАПИТ

опис
Furnace is used for material CVD/CVI treatment by using hydrocarbon gases (like C3H6,CH4 ) . It has both horizontal and vertical structures.

Застосування:C/C composite brake disc, crucible, mold and etc.

Specifications of CVD Furnace

Модель/Спец	Розмір робочої зони (Ш × В × Д) (мм)	Макс. Температура (°C)	Temperature Uniformity(°C)	Ultimate Vacuum (Pa)	Pressure Increase Rate(Pa/h)
HCVD-060609-C	600 × 600 × 900	1500	± 7.5	1-100	0.67
HCVD-101015-C	1000 × 1000 × 1500	1500	± 7.5	1-100	0.67
HCVD-121220-C	1200 × 1200 × 2000	1500	± 10	1-100	0.67
HCVD-151530-C	1500 × 1500 × 3000	1500	± 10	1-100	0.67
HCVD-152023-C	1500 × 2000 × 2300	1500	± 10	1-100	0.67
HCVD-252035-C	2500 × 2000 × 3500	1500	± 10	1-100	0.67

VCVD-0305-C	φ300 × 500	1500	±5/± 10	1-100	0.67
VCVD-0608-C	φ600 × 800	1500	± 7.5/± 10	1-100	0.67
VCVD-0812-C	φ800 × 1200	1500	± 7.5/± 15	1-100	0.67
VCVD-1120-C	φ1100 × 2000	1500	± 10/± 15	1-100	0.67
VCVD-1320-C	φ1300 × 2000	1500	± 10/± 15	1-100	0.67
VCVD-1520-C	φ1500 × 2000	1500	± 10/± 20	1-100	0.67
VCVD-1822-C	φ1800 × 2200	1500	± 15	1-100	0.67
VCVD-2032-C	φ2000 × 3200	1500	± 15	1-100	0.67
VCVD-2632-C	φ2600 × 3200	1500	± 15	1-100	0.67
VCVD-3338-C	φ3300 × 3800	1500	± 20	1-100	0.67
VCVD-3344-C	φ3300 × 4400	1500	± 20	1-100	0.67
Вищевказані параметри можна пристосувати до вимог процесу, вони не є стандартом прийняття, детальна специфікація. буде зазначено в технічній пропозиції та угодах.

Технічні характеристики
1. Using multiple temperature control zones, great temperature uniformity;

2. Special designed deposition chamber with good sealing effect and great anti-contamination performance;

3. Using multiple deposition channels with uniformity gas flow, without deposition dead corner and perfect deposition surface;

4. It has treatment for the tar, solid dust and organic gases during the deposition process

Додаткова конфігурація CVD печі

1. Furnace door: screw/hydraulic/manual elevation type; swing opening/parallel opening(large size furnace door); manual tight/auto lock-ring tight

2. Furnace vessel: all carbon steel/inner layer stainless steel/all stainless steel

3. Furnace hot zone: soft carbon felt/soft graphite felt/rigid composite felt/ CFC

4. Heating element and muffle: isostatic press graphite/high purity, strength and density graphite/fine size graphite

5. Process gas system: volume/mass flow-meter;

6. Thermocouple: K type/N type/C type/S type