класифікація

Зв'язатися з нами

Індустріальний парк ACME Xingsha, East Liangtang Rd. , місто Чанша, провінція Хунань

CVD-піч (SiC 、 BN)

Furnace used for anti-oxidation coating, matrix material character change and etc. by using Silicohydride gas source. It has both horizontal and vertical structures.
Запит

ЗАПИТ

Технічні характеристики
Пов’язана необов’язкова конфігурація

опис
Furnace used for anti-oxidation coating, matrix material character change and etc. by using Silicohydride gas source. It has both horizontal and vertical structures.

Застосування:SiC coating for C/C composite material, SiC coating for graphite, SiC, BN and ZrC coating for fiber and etc.

Технічні характеристики CVD піч

ModelSpec	Розмір робочої зони (Ш × В × Д) (мм)	Макс. Температура (°C)	Рівномірність температури (° C)	Максимальний вакуум (Па)	Швидкість підвищення тиску (Па/год)
HCVD-060609-SiC	600 × 600 × 900	1500	± 7.5	1-100	0.67
HCVD-101015-SiC	1000 × 1000 × 1500	1500	± 7.5	1-100	0.67
HCVD-121220-SiC	1200 × 1200 × 2000	1500	± 10	1-100	0.67
HCVD-151530-SiC	1500 × 1500 × 3000	1500	± 10	1-100	0.67
HCVD-252035-SiC	2500 × 2000 × 3500	1500	± 10	1-100	0.67

VCVD-0305-SiC	φ300 × 500	1500	± 5	1-100	0.67
VCVD-0608-SiC	φ600 × 800	1500	± 7.5	1-100	0.67
VCVD-0812-SiC	φ800 × 1200	1500	± 7.5	1-100	0.67
VCVD-1120-SiC	φ1100 × 2000	1500	± 10	1-100	0.67
VCVD-2632-SiC	φ2600 × 3200	1500	± 10	1-100	0.67
Вищевказані параметри можна пристосувати до вимог процесу, вони не є стандартом прийняття, детальна специфікація. буде зазначено в технічній пропозиції та угодах.

Технічні характеристики
1. Using the most advanced control technology, it can precise control the MTS flow and pressure, the deposition flow is stable and pressure fluctuate in narrow range;

2. Special designed deposition chamber with good sealing effect and great anti-contamination performance;

3. Using multiple deposition channels with uniformity gas flow, without deposition dead corner and perfect deposition surface;

4. It has treatment for the high corrosive gas, flammable and explosive gas , solid dust and low melting point sticky materials during the deposition process;

5. Using newly designed corrosion resistant vacuum pump which has long continuous working hours and low maintenance rate.
Optional Configuration of CVD Furnace

1. Furnace door: screw/hydraulic/manual elevation type;swing opening/parallel opening(large size furnace door); manual tight/ auto lock-ring tight

2. Furnace vessel: all carbon steel/inner layer stainless steel/all stainless steel

3. Furnace hot zone: soft carbon felt/soft graphite felt/rigid composite felt/CFC

4. Heating element and muffle: isostatic press graphite/high purity, strength and density graphite/fine size graphite

5. Система технологічного газу: об'ємно-масовий витратомір

6.Thermocouple: K type/N type/C type/S type