CVD උදුන(C)

හයිඩ්‍රොකාබන් වායු (C3H6,CH4 වැනි) භාවිතයෙන් ද්‍රව්‍ය CVD/CVI ප්‍රතිකාර සඳහා උදුන භාවිතා කරයි. එය තිරස් හා සිරස් ව්යුහයන් ඇත.

පරීක්ෂණයක්

තාක්ෂණික විශේෂාංග
අදාළ විකල්ප වින්‍යාසය

විස්තර
ද්රව්ය සඳහා උදුන භාවිතා වේ CVD දිගුව/CVI ප්‍රතිකාරය හයිඩ්‍රොකාබන් වායූන් භාවිතයෙන් (C3H6,CH4 වැනි) . එය තිරස් හා සිරස් ව්යුහයන් ඇත.

අයදුම්පත:C/C සංයුක්ත තිරිංග තැටිය, ක්‍රූසිබල්, අච්චු සහ යනාදිය.

CVD උදුනෙහි පිරිවිතර

මාදිලිය/විශේෂය	වැඩ කරන කලාප ප්රමාණය (W × H × L) (මි.මී.)	උපරිම. උෂ්ණත්වය (°C)	උෂ්ණත්වය ඒකාකාරිත්වය (°C)	Ultimate Vacuum (Pa)	පීඩන වැඩි වීමේ අනුපාතය(Pa/h)
HCVD-060609-C	600 × 600 × 900	1500	7.5 ±	1-100	0.67
HCVD-101015-C	1000 × 1000 × 1500	1500	7.5 ±	1-100	0.67
HCVD-121220-C	1200 × 1200 × 2000	1500	10 ±	1-100	0.67
HCVD-151530-C	1500 × 1500 × 3000	1500	10 ±	1-100	0.67
HCVD-152023-C	1500 × 2000 × 2300	1500	10 ±	1-100	0.67
HCVD-252035-C	2500 × 2000 × 3500	1500	10 ±	1-100	0.67

VCVD-0305-C	φ300 × 500	1500	±5/10 ±	1-100	0.67
VCVD-0608-C	φ600 × 800	1500	7.5 ±/10 ±	1-100	0.67
VCVD-0812-C	φ800 × 1200	1500	7.5 ±/15 ±	1-100	0.67
VCVD-1120-C	φ1100 × 2000	1500	10 ±/15 ±	1-100	0.67
VCVD-1320-C	φ1300 × 2000	1500	10 ±/15 ±	1-100	0.67
VCVD-1520-C	φ1500 × 2000	1500	10 ±/20 ±	1-100	0.67
VCVD-1822-C	φ1800 × 2200	1500	15 ±	1-100	0.67
VCVD-2032-C	φ2000 × 3200	1500	15 ±	1-100	0.67
VCVD-2632-C	φ2600 × 3200	1500	15 ±	1-100	0.67
VCVD-3338-C	φ3300 × 3800	1500	20 ±	1-100	0.67
VCVD-3344-C	φ3300 × 4400	1500	20 ±	1-100	0.67
ඉහත පරාමිතීන් ක්‍රියාවලි අවශ්‍යතා අනුව සකස් කළ හැක, ඒවා පිළිගැනීමේ ප්‍රමිතිය, විස්තර පිරිවිතර ලෙස නොවේ. තාක්ෂණික යෝජනාව සහ ගිවිසුම්වල සඳහන් වනු ඇත.

තාක්ෂණික විශේෂාංග
1. බහු උෂ්ණත්ව පාලන කලාප භාවිතා කිරීම, විශිෂ්ට උෂ්ණත්ව ඒකාකාරිත්වය;

2. හොඳ මුද්‍රා තැබීමේ බලපෑමක් සහ විශිෂ්ට දූෂණ විරෝධී කාර්ය සාධනයක් සහිත විශේෂ සැලසුම් කරන ලද තැන්පත් කිරීමේ කුටිය;

3. ඒකාකාරී වායු ප්‍රවාහයක් සහිත බහු තැන්පතු නාලිකා භාවිතා කිරීම, තැන්පතු මළ කොනක් සහ පරිපූර්ණ තැන්පත් මතුපිටක් නොමැතිව;

4. තැන්පත් කිරීමේ ක්‍රියාවලියේදී තාර, ඝන දූවිලි සහ කාබනික වායු සඳහා ප්‍රතිකාර ඇත

CVD උදුනේ විකල්ප වින්‍යාසය

1. උදුන දොර: ඉස්කුරුප්පු / හයිඩ්රොලික් / අතින් උන්නතාංශ වර්ගය; පැද්දීම විවෘත කිරීම / සමාන්තර විවරයක් (විශාල ප්රමාණයේ උදුන දොර); අතින් තද / ස්වයංක්‍රීය අගුළු-මුදු තද

2. උදුන යාත්‍රාව: සියලුම කාබන් වානේ/අභ්‍යන්තර ස්ථරය මල නොබැඳෙන වානේ/සියලු මල නොබැඳෙන වානේ

3. උදුන උණුසුම් කලාපය: මෘදු කාබන් දැනීම / මෘදු මිනිරන් දැනීම / දෘඩ සංයුක්ත හැඟීම / CFC

4. තාපන මූලද්‍රව්‍ය සහ මෆල්: සමස්ථානික මුද්‍රණ මිනිරන්/ඉහළ සංශුද්ධතාවය, ශක්තිය සහ ඝනත්වය මිනිරන්/සියුම් ප්‍රමාණයේ මිනිරන්

5. ක්රියාවලිය ගෑස් පද්ධතිය: පරිමාව / ස්කන්ධ ප්රවාහ-මීටරය;

6. තාපගති: K වර්ගය/N වර්ගය/C වර්ගය/S වර්ගය