CVD උදුන (SiC,BN)

සිලිකොහයිඩ්‍රයිඩ් වායු ප්‍රභවය භාවිතයෙන් ප්‍රති-ඔක්සිකරණ ආලේපනය, අනුකෘති ද්‍රව්‍ය ස්වභාවය වෙනස් කිරීම සහ යනාදිය සඳහා භාවිතා කරන උදුන. එය තිරස් හා සිරස් ව්යුහයන් ඇත.
පරීක්ෂණයක්

පරීක්ෂණයක්

තාක්ෂණික විශේෂාංග
අදාළ විකල්ප වින්‍යාසය

විස්තර
සිලිකොහයිඩ්‍රයිඩ් වායු ප්‍රභවය භාවිතයෙන් ප්‍රති-ඔක්සිකරණ ආලේපනය, අනුකෘති ද්‍රව්‍ය ස්වභාවය වෙනස් කිරීම සහ යනාදිය සඳහා භාවිතා කරන උදුන. එය තිරස් හා සිරස් ව්යුහයන් ඇත.

අයදුම්පත:C/C සංයුක්ත ද්‍රව්‍ය සඳහා SiC ආලේපනය, මිනිරන් සඳහා SiC ආලේපනය, තන්තු සඳහා SiC, BN සහ ZrC ආලේපනය සහ යනාදිය.

හි පිරිවිතර CVD දිගුව උදුන

ModelSpec	වැඩ කරන කලාප ප්රමාණය (W × H × L) (මි.මී.)	උපරිම. උෂ්ණත්වය (°C)	උෂ්ණත්වය ඒකාකාරිත්වය (°C)	Ultimate Vacuum (Pa)	පීඩන වැඩිවීමේ අනුපාතය (Pa/h)
HCVD-060609-SiC	600 × 600 × 900	1500	7.5 ±	1-100	0.67
HCVD-101015-SiC	1000 × 1000 × 1500	1500	7.5 ±	1-100	0.67
HCVD-121220-SiC	1200 × 1200 × 2000	1500	10 ±	1-100	0.67
HCVD-151530-SiC	1500 × 1500 × 3000	1500	10 ±	1-100	0.67
HCVD-252035-SiC	2500 × 2000 × 3500	1500	10 ±	1-100	0.67

VCVD-0305-SiC	φ300 × 500	1500	5 ±	1-100	0.67
VCVD-0608-SiC	φ600 × 800	1500	7.5 ±	1-100	0.67
VCVD-0812-SiC	φ800 × 1200	1500	7.5 ±	1-100	0.67
VCVD-1120-SiC	φ1100 × 2000	1500	10 ±	1-100	0.67
VCVD-2632-SiC	φ2600 × 3200	1500	10 ±	1-100	0.67
ඉහත පරාමිතීන් ක්‍රියාවලි අවශ්‍යතා අනුව සකස් කළ හැක, ඒවා පිළිගැනීමේ ප්‍රමිතිය, විස්තර පිරිවිතර ලෙස නොවේ. තාක්ෂණික යෝජනාව සහ ගිවිසුම්වල සඳහන් වනු ඇත.

තාක්ෂණික විශේෂාංග
1. වඩාත්ම දියුණු පාලන තාක්ෂණය භාවිතා කරමින්, එය MTS ප්රවාහය සහ පීඩනය නිවැරදිව පාලනය කළ හැකිය, තැන්පත් ප්රවාහය ස්ථායී වන අතර පටු පරාසයක පීඩනය උච්චාවචනය වේ;

2. හොඳ මුද්‍රා තැබීමේ බලපෑමක් සහ විශිෂ්ට දූෂණ විරෝධී කාර්ය සාධනයක් සහිත විශේෂ සැලසුම් කරන ලද තැන්පත් කිරීමේ කුටිය;

3. ඒකාකාරී වායු ප්‍රවාහයක් සහිත බහු තැන්පතු නාලිකා භාවිතා කිරීම, තැන්පතු මළ කොනක් සහ පරිපූර්ණ තැන්පත් මතුපිටක් නොමැතිව;

4. තැන්පත් කිරීමේ ක්‍රියාවලියේදී අධික විඛාදන වායුව, දැවෙනසුළු සහ පුපුරන සුලු වායුව, ඝන දූවිලි සහ අඩු ද්‍රවාංකය ඇලෙන සුළු ද්‍රව්‍ය සඳහා ප්‍රතිකාර ඇත;

5. දිගු අඛණ්ඩ වැඩ කරන පැය ගණනක් සහ අඩු නඩත්තු අනුපාතයක් ඇති අලුතින් නිර්මාණය කරන ලද විඛාදනයට ඔරොත්තු දෙන වැකුම් පොම්පයක් භාවිතා කිරීම.
CVD උදුනේ විකල්ප වින්‍යාසය

1. උදුන දොර: ඉස්කුරුප්පු / හයිඩ්රොලික් / අතින් උන්නතාංශ වර්ගය; පැද්දීම විවෘත කිරීම / සමාන්තර විවරයක් (විශාල ප්රමාණයේ උදුන දොර); අතින් තද / ස්වයංක්‍රීය අගුලු-මුදු තද

2. උදුන යාත්‍රාව: සියලුම කාබන් වානේ/අභ්‍යන්තර ස්ථරය මල නොබැඳෙන වානේ/සියලු මල නොබැඳෙන වානේ

3. උදුන උණුසුම් කලාපය: මෘදු කාබන් දැනීම / මෘදු මිනිරන් දැනීම / දෘඪ සංයුක්ත හැඟීම / CFC

4. තාපන මූලද්‍රව්‍ය සහ මෆල්: සමස්ථානික මුද්‍රණ මිනිරන්/ඉහළ සංශුද්ධතාවය, ශක්තිය සහ ඝනත්වය මිනිරන්/සියුම් ප්‍රමාණයේ මිනිරන්

5. ක්රියාවලිය ගෑස් පද්ධතිය: පරිමාව / ස්කන්ධ ප්රවාහ-මීටරය

6.Thermocouple: K වර්ගය/N වර්ගය/C වර්ගය/S වර්ගය