Вакуумды тазарту және агломерациялау пеші (SiC/Si3N4/AlN)

үшін пеш қолданыладыреакциялық агломерация, төмен қысымды агломерациялау, карбидті, нитридті, оксидті керамикалық эмбрионды және бұйымдарды қайта кристалдық агломерациялау. Майсыздандыру жүйесі керамикалық бұйымдарды бір реттік майсыздандыру және агломерациялық өңдеуді жүзеге асыру үшін міндетті емес.

СҰРАУ

Техникалық ерекшеліктері
Қатысты қосымша конфигурация

сипаттамасы
Пешті реакциялық агломерациялау, төмен қысымды агломерациялау, карбидті, нитридті, оксидті керамикалық эмбрионды және бұйымдарды қайта кристалды агломерациялау үшін қолданылады. Майсыздандыру жүйесі керамикалық бұйымдарды бір реттік майсыздандыру және агломерациялық өңдеуді жүзеге асыру үшін міндетті емес.

Қолдану: SiC, кремний нитриди және алюминий нитриди сияқты керамикалық өнімдер.

Вакууммен байланыстырудың техникалық сипаттамалары және Пеш пеші

ModelSpec	Жұмыс аймағының мөлшері (ЕхБхТ) (мм)	Макс. Температура (° C)	Температураның біркелкілігі (° C)	Соңғы вакуум (Па)	Қысымды арттыру жылдамдығы (Па / сағ)
VDSF-050511	500 × × 500 1100	1500/2400	± 5 /10 ±	1-100	0.67
VDSF-100612	1000 × × 600 1200	1500/2400	± 5 /10 ±	1-100	0.67
VDSF-100813	1000 × × 800 1300	1500/2400	± 5 /10 ±	1-100	0.67
VDSF-100825	1000 × × 800 2500	1500/2400	± 5 /10 ±	1-100	0.67
VDSF-100840	1000 × × 800 4000	1500/2400	± 5 /10 ±	1-100	0.67
Жоғарыда келтірілген параметрлерді технологиялық талаптарға сәйкестендіруге болады, олар қабылдау стандартына сәйкес келмейді, егжей-тегжейлі сипаттамалар. техникалық ұсыныста және келісімдерде айтылатын болады.

Техникалық ерекшеліктері

1. Бірегей ACME супер жоғары температура және жоғары токпен жабдықтау технологиясын қолдана отырып, ол жоғары температурада ұзақ мерзімді тұрақты қолдана алады;

2. Температураны дәл бақылаумен және аз ауытқумен арнайы әзірленген жоғары температуралы пирометрлерді өлшеу технологиясын қолдану;

3. Кремний булары мен пайдаланылған газдың қыздыру элементі мен оқшаулағышқа ластануын азайту үшін арнайы тығыздағыш муфтамен орнатылған;

4. Қоршаған ортаға зиян келтірмейтін және тазалауға ыңғайлы, пайдаланылған газды тазартатын жоғары тиімділік қондырғысы;

5. Дебильдеу және агломерация процесін бір пеште бір уақытта аяқтауға арналған дебинг жүйесі бар.

Вакуумдық синтерлеу пешінің қосымша конфигурациясы

1. Пештің есігі: бұрандалы / гидравликалық / қолмен көтеру; қолмен тығыз / автоматты түрде құлыптау сақинасы тығыз

2. Пеш ыдысы: барлық көміртекті болат / ішкі қабат баспайтын болат / барлық баспайтын болат

3. Пештің ыстық аймағы: жұмсақ көміртекті киіз / жұмсақ графит киіз / қатты композиттік тақта / CFC

4. Қыздыру элементі және муфель: изостатикалық пресс графит / жоғары тазалығы, беріктігі және тығыздығы графит / ұсақ өлшемді графит

5. Процесс газ жүйесі: көлем / масса өлшегіш; қолмен / автоматты клапанмен;

6. Термопар: C типі / S түрі / R типі / B түрі

7.Пирометр: Қос түсті / Бір түсті; CHINO / Raytek