CVD ફર્નેસ (SiC, BN)

સિલિકોહાઇડ્રાઇડ ગેસ સ્ત્રોતનો ઉપયોગ કરીને એન્ટી-ઓક્સિડેશન કોટિંગ, મેટ્રિક્સ મટિરિયલ કેરેક્ટર ચેન્જ અને વગેરે માટે ભઠ્ઠીનો ઉપયોગ થાય છે. તે બંને આડી અને ઊભી રચનાઓ ધરાવે છે.
તપાસ

પૂછપરછ

તકનીકી સુવિધાઓ
સંબંધિત વૈકલ્પિક ગોઠવણી

વર્ણન
સિલિકોહાઇડ્રાઇડ ગેસ સ્ત્રોતનો ઉપયોગ કરીને એન્ટી-ઓક્સિડેશન કોટિંગ, મેટ્રિક્સ મટિરિયલ કેરેક્ટર ચેન્જ અને વગેરે માટે ભઠ્ઠીનો ઉપયોગ થાય છે. તે બંને આડી અને ઊભી રચનાઓ ધરાવે છે.

અરજી:C/C સંયુક્ત સામગ્રી માટે SiC કોટિંગ, ગ્રેફાઇટ માટે SiC કોટિંગ, ફાઇબર માટે SiC, BN અને ZrC કોટિંગ અને વગેરે.

ના સ્પષ્ટીકરણો સીવીડી ભઠ્ઠી

મોડલસ્પેક	વર્કિંગ ઝોનનું કદ (W × H × L) (mm)	મહત્તમ તાપમાન (°C)	તાપમાન એકરૂપતા (°C)	અલ્ટીમેટ વેક્યુમ (પા)	દબાણ વધારવાનો દર (પા/ક)
HCVD-060609-SiC	600 × 600 × 900	1500	± 7.5	1-100	0.67
HCVD-101015-SiC	1000 × 1000 × 1500	1500	± 7.5	1-100	0.67
HCVD-121220-SiC	1200 × 1200 × 2000	1500	± 10	1-100	0.67
HCVD-151530-SiC	1500 × 1500 × 3000	1500	± 10	1-100	0.67
HCVD-252035-SiC	2500 × 2000 × 3500	1500	± 10	1-100	0.67

VCVD-0305-SiC	300 × 500	1500	± 5	1-100	0.67
VCVD-0608-SiC	600 × 800	1500	± 7.5	1-100	0.67
VCVD-0812-SiC	800 × 1200	1500	± 7.5	1-100	0.67
VCVD-1120-SiC	1100 × 2000	1500	± 10	1-100	0.67
VCVD-2632-SiC	2600 × 3200	1500	± 10	1-100	0.67
ઉપરોક્ત પરિમાણોને પ્રક્રિયાની આવશ્યકતાઓ સાથે સમાયોજિત કરી શકાય છે, તે સ્વીકૃતિ પ્રમાણભૂત, વિગતવાર સ્પેક તરીકે નથી. તકનીકી દરખાસ્ત અને કરારોમાં જણાવવામાં આવશે.

તકનીકી સુવિધાઓ
1. સૌથી અદ્યતન નિયંત્રણ તકનીકનો ઉપયોગ કરીને, તે MTS પ્રવાહ અને દબાણને ચોક્કસ નિયંત્રિત કરી શકે છે, ડિપોઝિશન ફ્લો સ્થિર છે અને દબાણ સાંકડી શ્રેણીમાં વધઘટ થાય છે;

2. સારી સીલિંગ અસર અને મહાન દૂષણ વિરોધી કામગીરી સાથે ખાસ ડિઝાઇન કરેલ ડિપોઝિશન ચેમ્બર;

3. ડિપોઝિશન ડેડ કોર્નર અને પરફેક્ટ ડિપોઝિશન સપાટી વિના, એકરૂપતા ગેસ ફ્લો સાથે બહુવિધ ડિપોઝિશન ચેનલોનો ઉપયોગ કરવો;

4. તે ઉચ્ચ કાટરોધક ગેસ, જ્વલનશીલ અને વિસ્ફોટક ગેસ, નક્કર ધૂળ અને નીચા ગલનબિંદુની સ્ટીકી સામગ્રીને જમા કરવાની પ્રક્રિયા દરમિયાન સારવાર આપે છે;

5. નવા ડિઝાઇન કરેલા કાટ પ્રતિરોધક વેક્યૂમ પંપનો ઉપયોગ જે લાંબા સમય સુધી સતત કામના કલાકો અને નીચા જાળવણી દર ધરાવે છે.
સીવીડી ફર્નેસનું વૈકલ્પિક રૂપરેખાંકન

1. ભઠ્ઠીનો દરવાજો: સ્ક્રુ/હાઈડ્રોલિક/મેન્યુઅલ એલિવેશન પ્રકાર;સ્વિંગ ઓપનિંગ/સમાંતર ઓપનિંગ (મોટા કદના ફર્નેસ દરવાજા); મેન્યુઅલ ટાઈટ/ ઓટો લોક-રિંગ ટાઈટ

2. ભઠ્ઠી જહાજ: તમામ કાર્બન સ્ટીલ/આંતરિક સ્તર સ્ટેનલેસ સ્ટીલ/તમામ સ્ટેનલેસ સ્ટીલ

3. ફર્નેસ હોટ ઝોન: સોફ્ટ કાર્બન ફીલ/સોફ્ટ ગ્રેફાઇટ ફીલ/રિજિડ કોમ્પોઝીટ ફીલ/CFC

4. હીટિંગ એલિમેન્ટ અને મફલ: આઇસોસ્ટેટિક પ્રેસ ગ્રેફાઇટ/ઉચ્ચ શુદ્ધતા, તાકાત અને ઘનતા ગ્રેફાઇટ/ફાઇન સાઈઝ ગ્રેફાઇટ

5. પ્રોસેસ ગેસ સિસ્ટમ: વોલ્યુમ/માસ ફ્લો-મીટર

6. થર્મોકોપલ: K પ્રકાર/N પ્રકાર/C પ્રકાર/S પ્રકાર