CVD oven (C)

Oven wurdt brûkt foar materiaal CVD / CVI behanneling troch it brûken fan koolwaterstof gassen (lykas C3H6, CH4). It hat sawol horizontale as fertikale struktueren.

inquiry

Technyske funksjes
Related opsjoneel konfiguraasje

Beskriuwing
Oven wurdt brûkt foar materiaal CVD útwreiding/CVI-behanneling mei help fan koolwaterstofgassen (lykas C3H6, CH4). It hat sawol horizontale as fertikale struktueren.

Oanfraach:C / C gearstalde rem disc, kroes, mal en etc.

Spesifikaasjes fan CVD Furnace

Model/spes	Working Zone Grutte (B × H × L) (mm)	Max. Temperatuer (°C)	Temperatueruniformiteit (°C)	Ultimate Vacuum (Pa)	Drukferhegingsfrekwinsje (Pa/h)
HCVD-060609-C	600 × 600 × 900	1500	± 7.5	1-100	0.67
HCVD-101015-C	1000 × 1000 × 1500	1500	± 7.5	1-100	0.67
HCVD-121220-C	1200 × 1200 × 2000	1500	± 10	1-100	0.67
HCVD-151530-C	1500 × 1500 × 3000	1500	± 10	1-100	0.67
HCVD-152023-C	1500 × 2000 × 2300	1500	± 10	1-100	0.67
HCVD-252035-C	2500 × 2000 × 3500	1500	± 10	1-100	0.67

VCVD-0305-C	φ300 × 500	1500	±5/± 10	1-100	0.67
VCVD-0608-C	φ600 × 800	1500	± 7.5/± 10	1-100	0.67
VCVD-0812-C	φ800 × 1200	1500	± 7.5/± 15	1-100	0.67
VCVD-1120-C	φ1100 × 2000	1500	± 10/± 15	1-100	0.67
VCVD-1320-C	φ1300 × 2000	1500	± 10/± 15	1-100	0.67
VCVD-1520-C	φ1500 × 2000	1500	± 10/± 20	1-100	0.67
VCVD-1822-C	φ1800 × 2200	1500	± 15	1-100	0.67
VCVD-2032-C	φ2000 × 3200	1500	± 15	1-100	0.67
VCVD-2632-C	φ2600 × 3200	1500	± 15	1-100	0.67
VCVD-3338-C	φ3300 × 3800	1500	± 20	1-100	0.67
VCVD-3344-C	φ3300 × 4400	1500	± 20	1-100	0.67
De boppesteande parameters kinne wurde oanpast oan de proses easken, se binne net as akseptaasje standert, de detail spec. sil yn it technyske foarstel en ôfspraken stean.

Technyske funksjes
1. Mei help fan meardere temperatuer kontrôle sônes, grutte temperatuer uniformiteit;

2. Spesjaal ûntwurpen deposition keamer mei goede sealing effekt en grutte anty-fersmoarging prestaasjes;

3. Mei help fan meardere deposition kanalen mei uniformity gas flow, sûnder deposition deade hoeke en perfekte deposition oerflak;

4. It hat behanneling foar de tar, fêste stof en organyske gassen tidens it ôfsettingsproses

Opsjonele konfiguraasje fan CVD Furnace

1. Oven doar: screw / hydraulysk / hânmjittich ferheging type; swing iepening / parallelle iepening (grutte grutte oven doar); hânmjittich strak / auto lock-ring strak

2. Furnace skip: alle koalstof stiel / binnenste laach RVS / alle RVS

3. Oven hjitte sône: sêft koalstoffilt / sêft grafytfilt / stive kompositefilt / CFC

4. Heating elemint en muffel: isostatyske parse grafyt / hege suverens, sterkte en tichtens grafyt / fyn grutte grafyt

5. Process gas systeem: folume / massa flow-meter;

6. Thermocouple: K type / N type / C type / S type