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CVD-Ofen (C)

CVD-Ofen (C)

Der Ofen wird für die CVD/CVI-Materialbehandlung unter Verwendung von Kohlenwasserstoffgasen (wie C3H6,CH4) verwendet. Es hat sowohl horizontale als auch vertikale Strukturen.

ANFRAGE
  • Technische Eigenschaften
  • Zugehörige optionale Konfiguration

Produktbeschreibung
Furnace is used for material CVD/CVI treatment by using hydrocarbon gases (like C3H6,CH4 ) .  It has both horizontal and vertical structures.

Anwendung: C/C composite brake disc, crucible, mold and etc. 

Technische Eigenschaften
1.  Using multiple temperature control zones, great temperature uniformity;

2.  Special designed deposition chamber with good sealing effect and great anti-contamination performance;

3.  Using multiple deposition channels with uniformity gas flow, without deposition dead corner and perfect deposition surface;

4.  It has treatment for the tar, solid dust and organic gases during the deposition process.

Optional Configuration of CVD Furnace

1.  Furnace door: screw/hydraulic/manual elevation type; swing opening/parallel opening(large size furnace door); manual tight/auto lock-ring tight

2.  Furnace vessel: all carbon steel/inner layer stainless steel/all stainless steel

3.  Furnace hot zone: soft carbon felt/soft graphite felt/rigid composite felt/ CFC

4.  Heating element and muffle: isostatic press graphite/high purity, strength and density graphite/fine size graphite

5.  Process gas system: volume/mass flow-meter;

6. Thermocouple: K type/N type/C type/S type

Specifications of CVD Furnace


ModelSpec

Working Zone Size

 (W × H × L) (mm)

Max. Temperature (°C)Temperaturgleichmäßigkeit (°C)Ultimatives Vakuum (Pa)Druckerhöhungsrate (Pa/h)
HCVD-060609-C600 × 600 × 9001500± 7.51-1000.67
HCVD-101015-C1000 × 1000 × 15001500± 7.51-1000.67
HCVD-121220-C1200 × 1200 × 20001500± 101-1000.67
HCVD-151530-C1500 × 1500 × 30001500± 101-1000.67
HCVD-252035-C2500 × 2000 × 35001500± 101-1000.67

VCVD-0305-Cφ300 × 5001500± 51-1000.67
VCVD-0608-Cφ600 × 8001500± 7.51-1000.67
VCVD-0812-Cφ800 × 12001500± 7.51-1000.67
VCVD-1120-Cφ1100 × 20001500± 101-1000.67
VCVD-2632-Cφ2600 × 32001500± 101-1000.67
The above parameters can be adjusted to the process requirements, they are not as acceptance standard, the detail spec. will be stated in the technical proposal and agreements.
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