CVD Ocağı(C)

Ocaq karbohidrogen qazlarından (C3H6, CH4 kimi) istifadə etməklə materialın CVD/CVI müalicəsi üçün istifadə olunur. Həm üfüqi, həm də şaquli strukturlara malikdir.

INQUIRY

Texniki Features
Əlaqədar isteğe bağlı konfiqurasiya

təsvir
Material üçün soba istifadə olunur CVD/CVI-nın karbohidrogen qazlarından (məsələn, C3H6, CH4) istifadə etməklə təmizlənməsi. Həm üfüqi, həm də şaquli strukturlara malikdir.

Application:C/C kompozit əyləc diski, tige, qəlib və s.

CVD sobasının texniki xüsusiyyətləri

Model / Spec	İş zonasının ölçüsü (G × Y × L) (mm)	Maks. Temperatur (°C)	Temperatur vahidliyi (°C)	Son Vakuum (Pa)	Təzyiq artımı dərəcəsi (Pa/h)
HCVD-060609-C	600 × 600 × 900	1500	± 7.5	1-100	0.67
HCVD-101015-C	1000 × 1000 × 1500	1500	± 7.5	1-100	0.67
HCVD-121220-C	1200 × 1200 × 2000	1500	± 10	1-100	0.67
HCVD-151530-C	1500 × 1500 × 3000	1500	± 10	1-100	0.67
HCVD-152023-C	1500 × 2000 × 2300	1500	± 10	1-100	0.67
HCVD-252035-C	2500 × 2000 × 3500	1500	± 10	1-100	0.67

VCVD-0305-C	φ300 × 500	1500	±5/± 10	1-100	0.67
VCVD-0608-C	φ600 × 800	1500	± 7.5/± 10	1-100	0.67
VCVD-0812-C	φ800 × 1200	1500	± 7.5/± 15	1-100	0.67
VCVD-1120-C	φ1100 × 2000	1500	± 10/± 15	1-100	0.67
VCVD-1320-C	φ1300 × 2000	1500	± 10/± 15	1-100	0.67
VCVD-1520-C	φ1500 × 2000	1500	± 10/± 20	1-100	0.67
VCVD-1822-C	φ1800 × 2200	1500	± 15	1-100	0.67
VCVD-2032-C	φ2000 × 3200	1500	± 15	1-100	0.67
VCVD-2632-C	φ2600 × 3200	1500	± 15	1-100	0.67
VCVD-3338-C	φ3300 × 3800	1500	± 20	1-100	0.67
VCVD-3344-C	φ3300 × 4400	1500	± 20	1-100	0.67
Yuxarıda göstərilən parametrlər prosesin tələblərinə uyğunlaşdırıla bilər, onlar qəbul standartı, detal spesifikasiyası kimi deyil. texniki təklif və müqavilələrdə qeyd olunacaq.

Texniki Features
1. Çox temperatur nəzarət zonaları, böyük temperatur vahidliyi istifadə;

2. Yaxşı sızdırmazlıq effekti və böyük anti-çirklənmə performansı ilə xüsusi dizayn edilmiş çökmə kamerası;

3. Çökmə ölü küncü və mükəmməl çökmə səthi olmadan vahid qaz axını ilə çoxlu çökmə kanallarından istifadə;

4. Çöküntü prosesi zamanı qatran, bərk toz və üzvi qazların təmizlənməsinə malikdir

CVD Ocağının Könüllü Konfiqurasiyası

1. Fırın qapısı: vida/hidravlik/manual yüksəklik növü; yelləncək açılış/paralel açılış (böyük ölçülü soba qapısı); əl ilə sıx/avtomatik kilid halqası sıx

2. Ocaq qabı: bütün karbon polad/daxili təbəqə paslanmayan polad/bütün paslanmayan polad

3. Ocağın isti zonası: yumşaq karbon keçə/yumşaq qrafit keçə/bərk kompozit keçə/ CFC

4. Qızdırıcı element və muffle: izostatik pres qrafit/yüksək təmizlik, möhkəmlik və sıxlıq qrafit/incə ölçülü qrafit

5. Proses qazı sistemi: həcm/kütləvi debimetr;

6. Termocüt: K növü/N tipi/C tipi/S tipi