CVD oond (C)

Oond word gebruik vir materiaal CVD/CVI behandeling deur koolwaterstofgasse (soos C3H6,CH4) te gebruik. Dit het beide horisontale en vertikale strukture.

ONDERSOEK

tegniese eienskappe
Verwante opsionele konfigurasie

Beskrywing
Furnace is used for material CVD/CVI treatment by using hydrocarbon gases (like C3H6,CH4 ) . It has both horizontal and vertical structures.

aansoek:C/C saamgestelde remskyf, smeltkroes, vorm en ens.

Spesifikasies van CVD Furnace

Model/Spes	Werksone Grootte (B × H × L) (mm)	Maks. Temperatuur (°C)	Temperatuuruniformiteit (°C)	Uiteindelike vakuum (Pa)	Drukverhogingskoers (Pa/h)
HCVD-060609-C	600 × 600 × 900	1500	± 7.5	1-100	0.67
HCVD-101015-C	1000 × 1000 × 1500	1500	± 7.5	1-100	0.67
HCVD-121220-C	1200 × 1200 × 2000	1500	± 10	1-100	0.67
HCVD-151530-C	1500 × 1500 × 3000	1500	± 10	1-100	0.67
HCVD-152023-C	1500 × 2000 × 2300	1500	± 10	1-100	0.67
HCVD-252035-C	2500 × 2000 × 3500	1500	± 10	1-100	0.67

VCVD-0305-C	×300 × 500	1500	±5/± 10	1-100	0.67
VCVD-0608-C	×600 × 800	1500	± 7.5/± 10	1-100	0.67
VCVD-0812-C	×800 × 1200	1500	± 7.5/± 15	1-100	0.67
VCVD-1120-C	×1100 × 2000	1500	± 10/± 15	1-100	0.67
VCVD-1320-C	×1300 × 2000	1500	± 10/± 15	1-100	0.67
VCVD-1520-C	×1500 × 2000	1500	± 10/± 20	1-100	0.67
VCVD-1822-C	×1800 × 2200	1500	± 15	1-100	0.67
VCVD-2032-C	×2000 × 3200	1500	± 15	1-100	0.67
VCVD-2632-C	×2600 × 3200	1500	± 15	1-100	0.67
VCVD-3338-C	×3300 × 3800	1500	± 20	1-100	0.67
VCVD-3344-C	×3300 × 4400	1500	± 20	1-100	0.67
Bogenoemde parameters kan aangepas word by die prosesvereistes, hulle is nie as aanvaardingstandaard nie, die detailspesifikasie. sal in die tegniese voorstel en ooreenkomste vermeld word.

tegniese eienskappe
1. Die gebruik van verskeie temperatuur beheer sones, groot temperatuur eenvormigheid;

2. Spesiaal ontwerpte afsettingskamer met goeie seëleffek en goeie anti-kontaminasie prestasie;

3. Die gebruik van veelvuldige afsettingskanale met eenvormige gasvloei, sonder neerslag dooie hoek en perfekte afsettingsoppervlak;

4. Dit het behandeling vir die teer, vaste stof en organiese gasse tydens die afsettingsproses

Opsionele konfigurasie van CVD-oond

1. Oonddeur: skroef/hidrouliese/handmatige hoogtetipe; swaai opening/parallelle opening (groot grootte oonddeur); handvas / outomatiese sluitring styf

2. Oondvat: alle koolstofstaal/binnelaag vlekvrye staal/alles vlekvrye staal

3. Oond warm sone: sagte koolstof vilt / sagte grafiet vilt / rigiede saamgestelde vilt / CFC

4. Verhittingselement en demp: isostatiese pers grafiet/hoë suiwerheid, sterkte en digtheid grafiet/fyn grootte grafiet

5. Prosesgasstelsel: volume/massavloeimeter;

6. Termokoppel: K tipe/N tipe/C tipe/S tipe